Целевая направленность создания изделий МСТ для обеспечения комплексной безопасности жизнедеятельности человека является решением социально значимой задачи. Первые результаты проектирования изделий МСТ и систем на их основе, ориентированных на производство Центром МСТ, уже реализованы на отечественных предприятиях радиоэлектронной отрасли.

Основные задачи микросистемотехники
Возникшая в последнее время в электронном сообществе дискуссия о перспективах развития электроники содержит некоторый пессимизм вследствие предполагаемого завершения действия закона Мура [1]. Действительно, этот закон, носящий явно эмпирический характер, связан с физическими ограничениями минимальных размеров транзисторов и имеет отношение только к одному виду электронных технологий – микроэлектронике. С точки зрения диалектики мы, скорее всего, находимся на завершении витка диалектической спирали развития этой технологии [2], начавшегося с момента изобретения транзистора [3]. Диалектическая теория предусматривает, что далее должен произойти некий качественный скачок, приводящий к инновационной технологии.
Вместе с тем, в рамках реальных технологий электроники развиваются новые направления – использование ранее известных, но не находивших масштабных применений, физических принципов, таких как магнитоэлектроника, оптоэлектроника, акустоэлектроника, хемотроника, криоэлектроника. Сами термины говорят о явно пограничных физических явлениях, которые оказались достижимыми, в частности, и на основе успехов микроэлектронной технологии. Объединение результатов исследований в области новых физических явлений (в плане возможности их использования для создания реальной радиоэлектронной аппаратуры) привело к формированию инновационного технологического направления – микросистемотехники (МСТ).
Микросистемотехника объединяет комплексное технологическое направление электроники, использующее первичные чувствительные элементы (ПЧЭ) в микроэлектронном исполнении, позволяющие получать информацию о физических, химических, биологических свойствах среды в электронном виде для последующего направленного управления средой или исполнительными приборами и механизмами.
МСТ можно считать новой ветвью развития электроники, которая, с одной стороны, опирается на технологические результаты предыдущих этапов (микроэлектроника, физика пограничных эффектов), а с другой стороны — использует инновационные возможности нанотехнологий. Последнее обстоятельство способствует определенному оптимизму в оценке перспектив развития электроники в пределах современного диалектического витка, основанного на эффекте переноса носителей заряда в твердом теле.

Технологическое направление микросистемотехники предполагает создание и производство изделий микросистемотехники.
Под такими изделиями понимаются устройства, получаемые совокупностью научно-технических и технологических способов формирования в объеме и (или)на поверхности твердого тела упорядоченной композиции микронных и субмикронных областей с заданными составом, структурой и геометрией. Эти изделия должны реализовывать функции восприятия и преобразования информации из физической (либо химической) формы в электрическую, а также функции хранения, обработки (используя эффекты, отличные от традиционной транзисторной электроники), трансляции информации, энергии и движения, а затем выработки управляющих воздействий в требуемых режимахи условиях эксплуатации.

Источник:
ЭЛЕКТРОНИКА, НТБ, № 5, 2010.

1. Moore G. Progress in Digital Integrated Electronics. – IEEE, IDEM, Tech. Digest. 1975.
2. Лазер И. Схемотехника радиоэлектронной аппаратуры. Технологические аспекты. – ЭЛЕКТРОНИКА: НТБ, 2008, No8, с. 102–107.
3. Kilby J.S. Semiconductor solid circuits. Presented at American Roket Society Corp. – 14-th Annual Meeting, Nov. 1959.